Sistemul de alimentare cu gaz la scară largă este destinat în principal producției de masă la scară largă de circuite integrate la scară ultra-mare de 8-12 inci (1 inch = 25,4 mm) pentru fabrici de circuite integrate la scară ultra-mare (tipurile de gaz includ SiH4, N2O, 2, C2F6, NH3 etc.), peste 100 MW de linii de producție de celule solare (tipurile de gaz includ NH3), linii de procesare cu diode emițătoare de lumină epitaxiale (tipurile de gaz includ NH3), peste 5 generații de fabrici de afișaje cu cristale lichide (tipurile de gaz includ 4, 3, NF3), fibră optică (tipurile de gaz includ SiCl4), linie de producție epitaxială de material siliciu (tipurile de gaz includ HCL) și alte industrii. fabrică de afișaje (tipul de gaz include 4, 3, NF3), fibră optică (tipul de gaz include SiCl4), linie de producție epitaxială de material siliciu (tipul de gaz include...HCL) și alte industrii. Acestea au investiții uriașe, adoptă cele mai avansate echipamente de procesare, au o cerere mare de gaze și au cele mai stricte cerințe pentru o aprovizionare stabilă și neîntreruptă, controlul purității și o producție sigură.
Gazele comune în vrac ale fabricilor menționate mai sus sunt furnizate în mare parte centralizat prin conducte de producție de gaze la fața locului (On-site) sau prin conducte din parcurile industriale (Pipeline). Cererea de azot de înaltă puritate pentru o fabrică de circuite integrate la scară ultra-mare de 8 inci, cu o capacitate anuală de producție de 50.000 de napolitane, este de peste 5.000 Nm3/h, iar cererea de hidrogen pentru linia de producție epitaxială cu diode emițătoare de lumină și epitaxială cu siliciu este de peste 100 Nm3/h.
Pe lângă gazele speciale ambalate în butelii obișnuite (50 l sau mai puțin), există multe alte tipuri de gaze speciale care sunt ambalate în mod obișnuit în recipiente mari, denumite gaze speciale vrac, inclusiv butelii Y (450 l), butelii T (980 l), containere (940 l), rezervoare ISO (22.500 l) și vagoane torpile (13.400 l), printre altele.
În vracGaze specialeSistemul de alimentare (BSGS) adoptă un controler PLC complet automat cu ecran tactil color; panou de gaz cu supapă pneumatică și senzor de presiune pentru comutare automată, purjare automată a azotului, ventilație automată asistată de vid; multiple măsuri de protecție și siguranță, detectarea scurgerilor, oprire de urgență de la distanță; surse speciale de purjare a azotului și așa mai departe. Gazul special adoptă o sursă de gaz independentă, punctul multifuncțional adoptă alimentarea divizată VMB sau VMP, VMB sau VMP adoptă o supapă pneumatică cu circuit ramificat, suflare a azotului, golire asistată de vid și așa mai departe. Datorită cantității totale de gaz BSGS, sursa este mare, în mare parte adoptând o cameră de gaz independentă și un sistem independent de extracție a aerului.
Data publicării: 22 februarie 2024