Che cos'è un sistema di fornitura di gas su larga scala?

Il sistema di fornitura di gas su larga scala è principalmente destinato alla produzione di massa su larga scala di circuiti integrati ultra-large da 8-12 pollici (1 pollice = 25,4 mm) (i tipi di gas includono SiH4, N2O, 2, C2F6, NH3, ecc.), linee di produzione di celle solari da oltre 100 MW (i tipi di gas includono NH3), linea di processo di diodi emettitori di luce epitassiali (i tipi di gas includono NH3), più di 5 generazioni di fabbriche di display a cristalli liquidi (i tipi di gas includono 4, 3, nf3), fibra ottica (i tipi di gas includono SiCl4), linea di produzione epitassiale di materiale al silicio (i tipi di gas includono HCL) e altre industrie.HCL) e altri settori. Hanno un'enorme portata di investimenti, adottano le apparecchiature di processo più avanzate, hanno un'elevata domanda di gas e hanno i requisiti più rigorosi per una fornitura stabile e ininterrotta, il controllo della purezza e la produzione sicura.

I gas di largo consumo delle suddette fabbriche vengono forniti principalmente tramite impianti di produzione in loco (On-site) o gasdotti di aree industriali (Pipeline). La domanda di azoto ad elevata purezza di una fabbrica di circuiti integrati ultra-large da 8 pollici con una capacità produttiva annua di 50.000 wafer è superiore a 5.000 Nm³/h, mentre la domanda di idrogeno della linea di produzione di wafer epitassiali di diodi a emissione di luce (LED) e di wafer epitassiali di silicio è superiore a 100 Nm³/h.

Oltre ai gas speciali confezionati in bombole ordinarie (50 litri o meno), esistono molti altri tipi di gas speciali che vengono comunemente confezionati in grandi contenitori, denominati gas speciali sfusi, tra cui bombole a Y (450 litri), bombole a T (980 litri), container (940 litri), serbatoi ISO (22.500 litri) e carri cisterna (13.400 litri), solo per citarne alcuni.

MassaGas specialiIl sistema di alimentazione (BSGS) adotta un controllore PLC completamente automatico con schermo tattile a colori; pannello del gas con valvola pneumatica e sensore di pressione per la commutazione automatica, spurgo automatico con azoto, sfiato automatico assistito dal vuoto; molteplici misure di protezione di sicurezza, rilevamento perdite, interruzione di emergenza remota; fonti di spurgo di azoto speciali e così via. Il gas speciale adotta una fonte di gas indipendente, il punto di utilizzo multiplo adotta un'alimentazione divisa VMB o VMP, VMB o VMP adottano una valvola pneumatica a circuito derivato, soffiaggio di azoto, svuotamento assistito dal vuoto e così via. Poiché la quantità totale di gas proveniente dal BSGS è elevata, nella maggior parte dei casi si adotta una camera del gas indipendente e un sistema di estrazione dell'aria indipendente.