Hệ thống cung cấp khí quy mô lớn chủ yếu phục vụ sản xuất hàng loạt các nhà máy mạch tích hợp siêu lớn (ULC) kích thước 8-12 inch (1 inch = 25,4 mm) (các loại khí bao gồm SiH4, N2O, C2F6, NH3, v.v.), dây chuyền sản xuất pin mặt trời công suất hơn 100 MW (các loại khí bao gồm NH3), dây chuyền sản xuất điốt phát quang (các loại khí bao gồm NH3), nhà máy màn hình tinh thể lỏng (LCD) thế hệ thứ 5 (các loại khí bao gồm 4, 3, nf3), sợi quang (các loại khí bao gồm SiCl4), dây chuyền sản xuất màng mỏng silicon (các loại khí bao gồm HCl), và các ngành công nghiệp khác.HCL) và các ngành công nghiệp khác. Họ có quy mô đầu tư khổng lồ, sử dụng thiết bị xử lý tiên tiến nhất, nhu cầu khí đốt cao và có những yêu cầu khắt khe nhất về nguồn cung ổn định và liên tục, kiểm soát độ tinh khiết và sản xuất an toàn.
Các loại khí thông dụng chính của các nhà máy nêu trên chủ yếu được cung cấp tập trung thông qua sản xuất khí tại chỗ (On-site) hoặc đường ống dẫn khí trong khu công nghiệp (Pipeline). Nhu cầu về nitơ tinh khiết cao của một nhà máy sản xuất mạch tích hợp siêu lớn 8 inch với công suất sản xuất hàng năm là 50.000 tấm wafer là hơn 5.000 Nm3/h, và nhu cầu về hydro của dây chuyền sản xuất điốt phát quang và silicon epitaxy là hơn 100 Nm3/h.
Ngoài các loại khí chuyên dụng được đóng gói trong các bình thông thường (50L hoặc nhỏ hơn), còn có nhiều loại khí chuyên dụng khác thường được đóng gói trong các thùng chứa lớn, được gọi là khí chuyên dụng số lượng lớn, bao gồm bình chữ Y (450L), bình chữ T (980L), container (940L), bồn ISO (22.500L) và xe bồn hình ngư lôi (13.400L), cùng nhiều loại khác.
Số lượng lớnKhí chuyên dụngHệ thống cung cấp khí (BSGS) sử dụng bộ điều khiển PLC hoàn toàn tự động với màn hình cảm ứng màu; bảng điều khiển khí với van khí nén và cảm biến áp suất để chuyển đổi tự động, xả khí nitơ tự động, thông hơi hỗ trợ hút chân không tự động; nhiều biện pháp bảo vệ an toàn, phát hiện rò rỉ, ngắt khẩn cấp từ xa; nguồn cung cấp khí nitơ đặc biệt, v.v. Khí đặc biệt sử dụng nguồn khí độc lập, điểm sử dụng đa năng sử dụng nguồn cung cấp tách VMB hoặc VMP, VMB hoặc VMP sử dụng van khí nén mạch nhánh, thổi khí nitơ, hút chân không, v.v. Do tổng lượng nguồn khí BSGS lớn, nên chủ yếu sử dụng phòng khí độc lập, hệ thống hút khí độc lập.
Thời gian đăng bài: 22/02/2024