기존 가스 공급 시스템은 주로 4~6인치 대형 집적 회로 공장, 50MW 미만의 태양 전지 생산 라인, 발광 다이오드(LED) 칩 생산 라인 및 기타 가스 소비량이 중간 정도인 전자 산업 분야에 사용됩니다. 이러한 시스템은 투자 규모가 중간 정도이고, 생산 라인 설비가 중고일 수 있으며, 가스 순도 관리 요구 사항이 엄격하지 않고, 투자 비용 절감을 위해 안전 기준을 충족하는 간단한 시스템 구성으로 운영됩니다.
일반적인 대량 가스 공급을 위한 기존 가스 공급 시스템은 일반적으로 현장 액체 저장 탱크(LIN, LOX, LAR) 또는 컨테이너형 구획(H2,He가스를 공급하기 위해 사용됩니다. 가스는 배관 시스템을 통해 시설로 운송되며, T자형 연결구를 열면 사용 지점으로 직접 공급됩니다.
특수 가스표준 실린더("50L")로 공급됩니다. 특수 가스 공급 시스템은 실린더 캐비닛을 채택합니다. 자동 PLC 컨트롤러, 컬러 터치스크린, 공압 밸브 및 압력 센서가 장착된 가스 패널, 자동 전환, 자동 질소 퍼지, 자동 진공 보조 배출 기능, 누출 감지, 원격 비상 차단 등의 다양한 안전 장치, 특수 질소 퍼지 소스 등이 구성됩니다. VMB는 분기 회로 공압 밸브, 질소 퍼지, 진공 보조 배출 방식을 채택합니다. VMB는 반자동 실린더 랙, 릴레이 제어, 자동 전환, 수동 블로잉, 수동 배출 기능을 채택합니다. VMB 주 공압 밸브, 질소 블로잉, 분기 회로 공압 밸브, 질소 블로잉, 진공 보조 배출 기능이 있습니다. 가스실 및 배기 시스템은 가스 종류에 따라 분류됩니다.
게시 시간: 2024년 2월 22일