Konventionelle Gasversorgungssysteme werden hauptsächlich in Fabriken für 4-6 Zoll große integrierte Schaltkreise, in Solarzellenproduktionslinien unter 50 MW, in LED-Chip-Produktionslinien und anderen Elektronikindustrien mit mittlerem Gasverbrauch eingesetzt. Der Investitionsumfang ist mittel, die Produktionslinien bestehen möglicherweise aus Gebrauchtmaschinen, die Anforderungen an die Gasreinheit sind nicht streng, und das System ist so einfach wie möglich gestaltet, um die Sicherheit zu gewährleisten und die Investitionskosten zu senken.
Konventionelle Gasversorgungssysteme für gängige Massengase werden üblicherweise als Tankstellen vor Ort eingerichtet, die Flüssiggastanks (LIN, LOX, LAR) oder Containerabteile (H2,HeDie Gase werden über das Rohrleitungssystem zur Anlage transportiert und durch Öffnen des T-Stücks direkt zum Verbrauchsort geleitet.
SpezialgaseDie Gasversorgung erfolgt über Standardflaschen (50 l). Das spezielle Gasversorgungssystem ist in einem Flaschenschrank untergebracht. Es verfügt über eine automatische SPS-Steuerung mit Farb-Touchscreen, ein Gasbedienfeld mit pneumatischen Ventilen und Drucksensoren, automatische Umschaltung, automatische Stickstoffspülung und automatische vakuumunterstützte Entleerung. Mehrere Sicherheitsvorkehrungen, Leckageerkennung und ferngesteuerte Notabschaltung sind integriert. Die Stickstoffspülung erfolgt über spezielle Abzweigventile. Das VMB-System nutzt ein separates pneumatisches Ventil, Stickstoffspülung und vakuumunterstützte Entleerung. Das VMB-System ist mit einem halbautomatischen Flaschengestell, Relaissteuerung, automatischer Umschaltung, manueller Ausblasung und manueller Entleerung ausgestattet. Es verfügt über ein Hauptventil und ein separates pneumatisches Ventil für die Stickstoffausblasung sowie eine separate pneumatische Ventilanordnung für die Stickstoffausblasung und vakuumunterstützte Entleerung. Gasraum und Abgasanlage sind nach Gasart kategorisiert.
Veröffentlichungsdatum: 22. Februar 2024