O que é um sistema convencional de fornecimento de gás?

Os sistemas convencionais de fornecimento de gás são utilizados principalmente em fábricas de circuitos integrados de grande porte (4 a 6 polegadas), linhas de produção de células solares com potência inferior a 50 MW, linhas de produção de chips de diodo emissor de luz (LED) e outras indústrias eletrônicas com consumo médio de gás. Nesses casos, o investimento é de médio porte, a linha de produção pode utilizar equipamentos de segunda mão, os requisitos de controle de pureza do gás não são rigorosos e o sistema é projetado para atender aos requisitos de segurança da forma mais simples possível, visando a economia de investimento.

Os sistemas convencionais de fornecimento de gases a granel comuns são geralmente instalados como estações de gás no local, utilizando tanques de armazenamento de líquidos (LIN, LOX, LAR) ou compartimentos em contêineres (H2,He) para fornecer os gases. Os gases são transportados para a instalação através do sistema de tubulação e entregues diretamente ao ponto de uso pela abertura da conexão em T.

   Gases especiaisO fornecimento de gás é feito por cilindros padrão (“50L”). O sistema especial de fornecimento de gás utiliza um compartimento para cilindros. A configuração inclui um controlador PLC automático com tela sensível ao toque colorida; painel de gás com válvulas pneumáticas e sensores de pressão, comutação automática, purga automática de nitrogênio e esvaziamento automático assistido por vácuo; múltiplas medidas de segurança, detecção de vazamentos, desligamento remoto de emergência; pontos especiais de purga de nitrogênio, etc. O sistema VMB utiliza uma válvula pneumática de circuito derivado, purga de nitrogênio e drenagem assistida por vácuo. O sistema VMB utiliza um rack de cilindros semiautomático, controle por relé, comutação automática, sopro manual e esvaziamento manual; válvula pneumática principal do VMB com sopro de nitrogênio; válvula pneumática de circuito derivado com sopro de nitrogênio e esvaziamento assistido por vácuo. A sala de gás e o sistema de exaustão são categorizados de acordo com o tipo de gás.