Che cos'è un sistema di fornitura di gas convenzionale?

I sistemi di alimentazione del gas convenzionali sono utilizzati principalmente nelle fabbriche di circuiti integrati di grandi dimensioni (4-6 pollici), nelle linee di produzione di celle solari inferiori a 50 MW, nelle linee di produzione di chip a diodi a emissione di luce (LED) e in altri settori dell'elettronica con un consumo di gas medio. Questi sistemi presentano un livello di investimento medio, le linee di produzione possono essere costituite da apparecchiature di seconda mano, i requisiti per il controllo della purezza del gas non sono stringenti e il sistema è progettato per garantire la massima semplicità possibile in termini di sicurezza, al fine di contenere i costi.

I sistemi convenzionali di fornitura di gas per i gas comuni sfusi sono generalmente configurati come stazioni di servizio in loco, utilizzando serbatoi di stoccaggio di liquidi in loco (LIN, LOX, LAR) o compartimenti containerizzati (H2,He) per fornire i gas. I gas vengono trasportati all'impianto attraverso il sistema di tubazioni e consegnati direttamente al punto di utilizzo aprendo il raccordo a T.

   Gas specialisono forniti da bombole standard (“50L”). Il sistema di alimentazione del gas speciale adotta un armadio per bombole. Configurazione del controllore PLC automatico, touch screen a colori; pannello del gas con valvole pneumatiche e sensori di pressione, commutazione automatica, spurgo automatico con azoto, svuotamento automatico assistito dal vuoto; molteplici misure di sicurezza, rilevamento perdite, arresto di emergenza remoto; fonti speciali di spurgo con azoto, ecc. Il VMB adotta una valvola pneumatica del circuito derivato, spurgo con azoto, drenaggio assistito dal vuoto. Il VMB adotta un portabombole semiautomatico, controllo a relè, commutazione automatica, soffiaggio manuale, svuotamento manuale; valvola pneumatica principale del VMB, soffiaggio con azoto; valvola pneumatica del circuito derivato, soffiaggio con azoto, svuotamento assistito dal vuoto. La sala del gas e il sistema di aspirazione sono classificati in base al tipo di gas.