Los sistemas convencionales de suministro de gas se utilizan principalmente en fábricas de circuitos integrados de 4 a 6 pulgadas, líneas de producción de células solares de menos de 50 MW, líneas de producción de chips LED y otras industrias electrónicas con un consumo medio de gas. Su escala de inversión es media, la línea de producción puede utilizar equipos de segunda mano, los requisitos de control de pureza del gas no son estrictos y el sistema se equipa para cumplir con los requisitos de seguridad de la forma más sencilla posible, con el fin de ahorrar inversión.
Los sistemas convencionales de suministro de gas para gases a granel comunes suelen estar configurados como estaciones de gas en el sitio, utilizando tanques de almacenamiento de líquidos en el sitio (LIN, LOX, LAR) o compartimentos en contenedores (H2,He) para suministrar los gases. Los gases se transportan a la instalación a través del sistema de tuberías y se entregan directamente al punto de uso abriendo la pieza en T.
Gases especialesson suministrados por cilindros estándar (“50L”). El sistema especial de suministro de gas adopta un armario de cilindros. Configuración de controlador PLC automático, pantalla táctil a color; panel de gas con válvulas neumáticas y sensores de presión, conmutación automática, purga automática de nitrógeno, vaciado automático asistido por vacío; múltiples medidas de seguridad, detección de fugas, parada de emergencia remota; orígenes especiales de purga de nitrógeno, etc. El VMB adopta una válvula neumática de circuito derivado, purga de nitrógeno, drenaje asistido por vacío. El VMB adopta un bastidor de cilindros semiautomático, control de relé, conmutación automática, soplado manual, vaciado manual; válvula neumática principal del VMB, soplado de nitrógeno; válvula neumática de circuito derivado, soplado de nitrógeno, vaciado asistido por vacío. La sala de gas y el sistema de escape están categorizados según el tipo de gas.
Fecha de publicación: 22 de febrero de 2024