ما هو نظام إمداد الغاز التقليدي؟

تُستخدم أنظمة إمداد الغاز التقليدية بشكل رئيسي في مصانع الدوائر المتكاملة الكبيرة (4-6 بوصات)، وخطوط إنتاج الخلايا الشمسية التي تقل قدرتها عن 50 ميجاواط، وخطوط إنتاج رقائق الصمام الثنائي الباعث للضوء (LED)، وغيرها من الصناعات الإلكترونية ذات الاستهلاك المتوسط ​​للغاز. يتميز حجم الاستثمار فيها بالمتوسط، وقد تكون خطوط الإنتاج مُستعملة، كما أن متطلبات التحكم في نقاء الغاز ليست صارمة، ويتم تجهيز النظام بما يضمن السلامة بأبسط شكل ممكن لتوفير الاستثمار.

عادةً ما يتم إنشاء أنظمة إمداد الغاز التقليدية للغازات السائبة الشائعة كمحطات غاز في الموقع، باستخدام خزانات تخزين السوائل في الموقع (LIN، LOX، LAR) أو حاويات (H2،He) لتزويد الغازات. يتم نقل الغازات إلى المنشأة عبر نظام الأنابيب وتوصيلها مباشرة إلى نقطة الاستخدام عن طريق فتح وصلة على شكل حرف T.

   الغازات المتخصصةيتم التزويد بأسطوانات قياسية (50 لترًا). يعتمد نظام تزويد الغاز الخاص على خزانة أسطوانات. يحتوي النظام على وحدة تحكم منطقية قابلة للبرمجة (PLC) أوتوماتيكية، وشاشة لمس ملونة، ولوحة غاز مزودة بصمامات هوائية ومستشعرات ضغط، مع تحويل أوتوماتيكي، وتفريغ نيتروجين أوتوماتيكي، وتفريغ آلي بمساعدة الفراغ. كما يتضمن النظام عدة إجراءات أمان، منها كشف التسرب، وإيقاف تشغيل طارئ عن بُعد، ومصادر خاصة لتفريغ النيتروجين. يعتمد نظام VMB على صمام هوائي لدائرة فرعية، وتفريغ نيتروجين، وتفريغ بمساعدة الفراغ. يعتمد نظام VMB على رف أسطوانات شبه أوتوماتيكي، وتحكم مرحلي، وتحويل أوتوماتيكي، ونفخ يدوي، وتفريغ يدوي. يحتوي نظام VMB على صمام هوائي رئيسي، ونفخ نيتروجين. يحتوي نظام VMB على صمام هوائي لدائرة فرعية، ونفخ نيتروجين، وتفريغ بمساعدة الفراغ. يتم تصنيف غرفة الغاز ونظام العادم وفقًا لنوع الغاز.