Geleneksel gaz besleme sistemleri, ağırlıklı olarak 4-6 inçlik büyük entegre devre fabrikalarında, 50 MW'ın altındaki güneş pili üretim hatlarında, LED çip üretim hatlarında ve orta düzeyde gaz tüketimi olan diğer elektronik endüstrilerinde kullanılmaktadır. Yatırım ölçekleri orta düzeydedir, üretim hattı ikinci el ekipman olabilir, gaz saflığı kontrolü gereksinimleri katı değildir ve sistem, yatırımı en aza indirmek için mümkün olduğunca basit bir şekilde, güvenlik ön koşullarını karşılayacak şekilde donatılmıştır.
Genel olarak yaygın olarak kullanılan toplu gazlar için geleneksel gaz tedarik sistemleri, genellikle yerinde sıvı depolama tankları (LIN, LOX, LAR) veya konteynerli bölmeler (H2,HeGazların temini için boru sistemi kullanılır. Gazlar, boru sistemi aracılığıyla tesise taşınır ve T bağlantı parçası açılarak doğrudan kullanım noktasına iletilir.
Özel gazlarStandart silindirler (“50L”) ile sağlanır. Özel gaz besleme sistemi silindir kabini kullanır. Otomatik PLC kontrol ünitesi, renkli dokunmatik ekran; pnömatik vanalar ve basınç sensörleri bulunan gaz paneli, otomatik anahtarlama, otomatik azot tahliyesi, otomatik vakum destekli boşaltma; çoklu güvenlik önlemleri, sızıntı tespiti, uzaktan acil durum kapatma; özel azot tahliye kaynakları vb. VMB, branş devre pnömatik vanası, azot tahliyesi, vakum destekli boşaltma kullanır. VMB, yarı otomatik silindir rafı, röle kontrolü, otomatik anahtarlama, manuel üfleme, manuel boşaltma kullanır; VMB ana pnömatik vanası, azot üfleme; branş devre pnömatik vanası, azot üfleme, vakum destekli boşaltma kullanır. Gaz odası ve egzoz sistemi, gaz türüne göre sınıflandırılır.
Yayın tarihi: 22 Şubat 2024