Традиционные системы газоснабжения в основном используются на заводах по производству крупных интегральных схем диаметром 4-6 дюймов, линиях по производству солнечных батарей мощностью менее 50 МВт, линиях по производству светодиодных чипов и в других отраслях электронной промышленности со средним потреблением газа. Масштаб инвестиций в них средний, производственная линия может быть бывшей в употреблении, требования к контролю чистоты газа не строгие, система оснащается максимально простым оборудованием, обеспечивающим безопасность, для экономии инвестиций.
Традиционные системы газоснабжения для распространенных газов в больших объемах обычно представляют собой автозаправочные станции на месте, использующие резервуары для хранения сжиженного газа (LIN, LOX, LAR) или контейнерные отсеки (H2,He) для подачи газов. Газы транспортируются на объект по трубопроводной системе и подаются непосредственно к месту использования путем открытия тройника.
Специальные газыПодача газа осуществляется из стандартных баллонов («50 л»). Специальная система подачи газа использует баллонный шкаф. Конфигурация включает автоматический ПЛК-контроллер, цветной сенсорный экран; газовую панель с пневматическими клапанами и датчиками давления, автоматическое переключение, автоматическую продувку азотом, автоматическое опорожнение с вакуумной поддержкой; множество мер безопасности, обнаружение утечек, дистанционное аварийное отключение; специальные источники продувки азотом и т. д. В газовом резервуаре используется пневматический клапан ответвленного контура, продувка азотом, опорожнение с вакуумной поддержкой. В газовом резервуаре используется полуавтоматическая стойка баллонов, релейное управление, автоматическое переключение, ручная продувка, ручное опорожнение; главный пневматический клапан газового резервуара, продувка азотом; пневматический клапан ответвленного контура, продувка азотом, опорожнение с вакуумной поддержкой. Газовое помещение и вытяжная система классифицируются по типу газа.
Дата публикации: 22 февраля 2024 г.