Sistemele convenționale de alimentare cu gaz sunt utilizate în principal în fabrici de circuite integrate de 4-6 inci, linii de producție de celule solare sub 50 MW, linii de producție de cipuri cu diode emițătoare de lumină (LED) și alte industrii electronice cu consum mediu de gaz. Scara lor de investiții este medie, linia de producție poate fi echipament second-hand, cerințele pentru controlul purității gazului nu sunt stricte, sistemul este echipat pentru a îndeplini premisa siguranței cât mai simplu posibil, economisind investiția.
Sistemele convenționale de alimentare cu gaze pentru gazele vrac comune sunt de obicei configurate ca stații de benzină la fața locului, utilizând rezervoare de stocare a lichidelor la fața locului (LIN, LOX, LAR) sau compartimente containerizate (H2,He) pentru furnizarea gazelor. Gazele sunt transportate către instalație prin sistemul de conducte și livrate direct la punctul de utilizare prin deschiderea piesei în T.
Gaze specialesunt alimentate de butelii standard („50L”). Sistemul special de alimentare cu gaz adoptă un dulap pentru butelii. Configurația este formată din controler PLC automat, ecran tactil color; panou de gaz cu valve pneumatice și senzori de presiune, comutare automată, purjare automată cu azot, golire automată asistată de vid; măsuri multiple de siguranță, detectare a scurgerilor, oprire de urgență de la distanță; origini speciale de purjare cu azot etc. VMB adoptă o valvă pneumatică cu circuit ramificat, purjare cu azot, golire asistată de vid. VMB adoptă un suport semiautomat pentru butelii, control cu relee, comutare automată, suflare manuală, golire manuală; valvă pneumatică principală VMB, suflare cu azot; valvă pneumatică cu circuit ramificat, suflare cu azot, golire asistată de vid. Camera de gaz și sistemul de evacuare sunt clasificate în funcție de tipul de gaz.
Data publicării: 22 februarie 2024