Les systèmes d'alimentation en gaz conventionnels sont principalement utilisés dans les usines de circuits intégrés de grande taille (4 à 6 pouces), les lignes de production de cellules solaires de moins de 50 MW, les lignes de production de puces LED et d'autres industries électroniques à consommation de gaz moyenne. Leur niveau d'investissement est moyen, la ligne de production peut être équipée de matériel d'occasion, les exigences en matière de contrôle de la pureté du gaz ne sont pas strictes et le système est configuré de manière à garantir la sécurité de façon aussi simple que possible afin de minimiser les coûts.
Les systèmes d'approvisionnement en gaz conventionnels pour les gaz en vrac courants sont généralement installés sous forme de stations-service sur site, utilisant des réservoirs de stockage de liquides sur site (LIN, LOX, LAR) ou des compartiments conteneurisés (H2,He) pour alimenter l'installation en gaz. Les gaz sont acheminés vers l'installation par le système de tuyauterie et distribués directement au point d'utilisation en ouvrant le raccord en T.
Gaz spéciauxL'alimentation se fait par bouteilles standard de 50 L. Le système d'alimentation en gaz spécifique utilise une armoire à bouteilles. Il est équipé d'un automate programmable (PLC) avec écran tactile couleur, d'un panneau de commande avec vannes pneumatiques et capteurs de pression, d'une commutation automatique, d'une purge automatique à l'azote et d'une vidange automatique sous vide. De multiples dispositifs de sécurité, tels que la détection de fuites et l'arrêt d'urgence à distance, sont intégrés. Le système de purge à l'azote est doté d'une vanne pneumatique sur le circuit de dérivation et d'une vidange sous vide. Il comprend également un rack à bouteilles semi-automatique avec commande par relais, commutation automatique, purge manuelle et vidange manuelle. La vanne principale du système assure la purge à l'azote, tandis que la vanne sur le circuit de dérivation assure également la purge à l'azote et la vidange sous vide. Le local à gaz et le système d'évacuation sont organisés selon le type de gaz.
Date de publication : 22 février 2024