Cáiargon floruaLaser excimer ArF dựa vào các đặc tính độc đáo của hỗn hợp khí ArF để tạo ra chùm tia laser cực tím chính xác có bước sóng 193 nanomet. Dưới đây là cái nhìn chi tiết hơn về quá trình phát laser:
-
Phóng điện khí – Áp dụng phóng điện cao áp vào khí ArF sẽ tạo ra các electron tự do và các ion argon.
-
Sự hình thành Excimer – Các nguyên tử argon và phân tử flo liên kết với nhau để tạo thành các phân tử excimer ở trạng thái kích thích có thời gian tồn tại ngắn.
-
Phát xạ kích thíchion – Các excimer phân rã nhanh chóng trở lại thành các nguyên tử không liên kết, giải phóng photon và kích hoạt quá trình giải phóng photon tiếp theo.
-
Khoang quang học – Ánh sáng UV phát ra sẽ phản xạ giữa gương phía sau và một phần gương phía trước, kích thích phát ra thêm ánh sáng.
-
Xung nano giây – Bản chất không cân bằng của phản ứng excimer giới hạn thời lượng xung ở mức nano giây với công suất đỉnh megawatt.
-
Hệ thống dẫn truyền chùm tia – Chùm tia đầu ra được hội tụ và quét trên bề mặt mục tiêu bằng các thành phần quang học chính xác.
Thông qua quá trình này, trạng thái excimer tạm thời trong khí argon fluoride có thể tạo ra các xung tia cực tím 193nm năng lượng cao một cách hiệu quả cho các ứng dụng gia công vi mô đòi hỏi độ chính xác tối đa.
Thời gian đăng bài: 12/09/2023