آرگون فلورایدلیزر اگزایمر ArF یا ArF برای تولید پرتو لیزر فرابنفش با طول موج 193 نانومتر، به خواص منحصر به فرد مخلوط گاز ArF متکی است. در اینجا نگاهی دقیقتر به فرآیند لیزر خواهیم داشت:
-
تخلیه گازی - اعمال تخلیه الکتریکی با ولتاژ بالا به گاز ArF باعث ایجاد الکترونهای آزاد و یونهای آرگون میشود.
-
تشکیل اگزایمر - اتمهای آرگون و مولکولهای فلوئور در حالتهای برانگیخته کوتاهمدت به هم متصل میشوند و مولکولهای اگزایمر را تشکیل میدهند.
-
انتشار تحریکشدهیون - اگزایمرها به سرعت به اتمهای آزاد واپاشی میکنند و فوتونهایی آزاد میکنند که باعث آزادسازی فوتونهای بیشتر میشود.
-
حفره نوری - نور UV ساطع شده بین آینه عقب و بخشی از آینه جلو منعکس میشود و باعث آزاد شدن بیشتر نور میشود.
-
پالسهای نانوثانیهای - ماهیت غیرتعادلی واکنش اگزایمر، مدت زمان پالس را به نانوثانیه با سطوح توان اوج مگاوات محدود میکند.
-
تحویل پرتو - پرتو خروجی توسط اجزای نوری دقیق روی سطح هدف متمرکز و اسکن میشود.
از طریق این فرآیند، حالت گذرای اگزایمر در گاز آرگون فلوراید میتواند به طور موثری پالسهای فرابنفش با انرژی بالا ۱۹۳ نانومتر را برای کاربردهای میکروماشینکاری که نیاز به حداکثر دقت دارند، تولید کند.
زمان ارسال: ۱۲ سپتامبر ۲۰۲۳