كيف تعمل ليزرات الإكسيمر المصنوعة من فلوريد الأرجون

الفلوريد الأرجونيعتمد ليزر الإكسيمر ArF على الخصائص الفريدة لمزيج غاز ArF لتوليد شعاع ليزر فوق بنفسجي دقيق بطول موجي 193 نانومتر. إليكم نظرة أقرب على عملية الليزر:

• التفريغ الغازي - يؤدي تطبيق تفريغ كهربائي عالي الجهد على غاز ArF إلى توليد إلكترونات حرة وأيونات الأرجون.

• تكوين الإكسيمر - ترتبط ذرات الأرجون وجزيئات الفلور لتكوين جزيئات الإكسيمر في حالات مثارة قصيرة العمر.

• الانبعاث المحفزأيون - تتحلل الإكسيمرات بسرعة إلى ذرات غير مرتبطة، مطلقة فوتونات تؤدي إلى إطلاق المزيد من الفوتونات.

• التجويف البصري - يرتد ضوء الأشعة فوق البنفسجية المنبعث بين المرآة الخلفية والمرآة الأمامية الجزئية مما يحفز إطلاق المزيد من الضوء.

• نبضات نانوثانية - إن الطبيعة غير المتوازنة لتفاعل الإكسيمر تحد من مدة النبضة إلى نانوثانية مع مستويات طاقة ذروة ميغاواط.

• توصيل الشعاع - يتم تركيز شعاع الإخراج ومسحه ضوئيًا على سطح الهدف بواسطة مكونات بصرية دقيقة.

من خلال هذه العملية، يمكن لحالة الإكسيمر العابرة في غاز فلوريد الأرجون أن تولد بكفاءة نبضات فوق بنفسجية عالية الطاقة بطول 193 نانومتر لتطبيقات التصنيع الدقيق التي تتطلب أقصى قدر من الدقة.