Οφθοριούχο αργόνή το λέιζερ excimer ArF βασίζεται στις μοναδικές ιδιότητες του μείγματος αερίων ArF για να παράγει μια ακριβή δέσμη υπεριώδους λέιζερ 193 νανομέτρων. Ακολουθεί μια πιο προσεκτική ματιά στη διαδικασία λέιζερ:
-
Εκκένωση αερίου – Η εφαρμογή ηλεκτρικής εκκένωσης υψηλής τάσης στο αέριο ArF δημιουργεί ελεύθερα ηλεκτρόνια και ιόντα αργού.
-
Σχηματισμός διεγερμένου διμερούς - Τα άτομα αργού και τα μόρια φθορίου συνδέονται για να σχηματίσουν μόρια διεγερμένου διμερούς σε βραχύβιες διεγερμένες καταστάσεις.
-
Διεγερμένη εκπομπήιόν – Τα διεγερμένα (excimers) αποσυντίθενται ταχέως σε μη συνδεδεμένα άτομα, απελευθερώνοντας φωτόνια που πυροδοτούν την απελευθέρωση περισσότερων φωτονίων.
-
Οπτική κοιλότητα – Το εκπεμπόμενο υπεριώδες φως αναπηδά μεταξύ του πίσω καθρέφτη και του μερικού μπροστινού καθρέφτη, διεγείροντας περαιτέρω απελευθέρωση φωτός.
-
Παλμοί νανοδευτερολέπτων – Η μη ισορροπία της αντίδρασης excimer περιορίζει τη διάρκεια του παλμού σε νανοδευτερόλεπτα με επίπεδα μέγιστης ισχύος μεγαβάτ.
-
Παράδοση δέσμης – Η δέσμη εξόδου εστιάζεται και σαρώνεται πάνω στην επιφάνεια-στόχο από οπτικά εξαρτήματα ακριβείας.
Μέσω αυτής της διαδικασίας, η παροδική κατάσταση excimer στο αέριο φθοριούχο αργόν μπορεί να παράγει αποτελεσματικά παλμούς υπεριώδους ακτινοβολίας υψηλής ενέργειας 193nm για εφαρμογές μικρο-κατεργασίας που απαιτούν μέγιστη ακρίβεια.
Ώρα δημοσίευσης: 12 Σεπτεμβρίου 2023