fluoruro de argónEl ArF, con fórmula química ArF, es un gas popular para láseres de excímeros. Los láseres de excímeros utilizan mezclas de gases reactivos que forman moléculas de excímeros de corta duración para emitir ráfagas de radiación láser ultravioleta. Algunos datos clave sobre el ArF:
-
Composición: El gas ArF se compone de un 0,1 % de flúor y un 99,9 % de argón, equilibrado con un gas de amortiguación como neón o helio.
-
Longitud de onda ultravioleta: los láseres ArF emiten luz coherente a 193 nanómetros, una de las longitudes de onda UV más cortas.generados por excímeros.
-
Salida pulsada: la emisión láser se produce en pulsos de nanosegundos con una alta potencia pico que alcanza los gigavatios, pero con un ciclo de trabajo bajo.
-
Sistemas de refrigeración: el gas ArF debe circular y enfriarse a temperaturas criogénicas de alrededor de -60 °C para permitir la formación de excímeros.
-
Aplicaciones: La luz ultravioleta de 193 nm se utiliza ampliamente en fotolitografía para la fabricación de chips semiconductores y otros procesos de micromecanizado de precisión.
Gracias a su corta longitud de onda y su rendimiento fiable, los láseres de excímero de fluoruro de argón son una fuente UV versátil para el procesamiento avanzado de materiales que requiere la máxima resolución.
Fecha de publicación: 12 de septiembre de 2023