Φθοριούχο αργόνΤο , με τον χημικό τύπο ArF, είναι ένα δημοφιλές αέριο λέιζερ excimer. Τα λέιζερ excimer χρησιμοποιούν αντιδραστικά μείγματα αερίων που σχηματίζουν βραχύβια μόρια excimer για να εκπέμπουν εκρήξεις υπεριώδους ακτινοβολίας λέιζερ. Μερικά βασικά στοιχεία για το ArF:
-
Σύνθεση – Το αέριο ArF αποτελείται από 0,1% φθόριο και 99,9% αργό, σε ισορροπία με ένα ρυθμιστικό αέριο όπως νέον ή ήλιο.
-
Μήκος κύματος υπεριώδους ακτινοβολίας – Τα λέιζερ ArF εκπέμπουν συνεκτικό φως στα 193 νανόμετρα, ένα από τα μικρότερα μήκη κύματος υπεριώδους ακτινοβολίας.που παράγονται από διεγερτές.
-
Παλμική έξοδος – Η εκπομπή λέιζερ λαμβάνει χώρα σε παλμούς νανοδευτερολέπτων με υψηλή μέγιστη ισχύ που φτάνει τα γιγαβάτ αλλά χαμηλό κύκλο λειτουργίας.
-
Συστήματα ψύξης – Το αέριο ArF πρέπει να κυκλοφορεί και να ψύχεται σε κρυογονικές θερμοκρασίες περίπου -60°C για να καταστεί δυνατός ο σχηματισμός διεγερμένου διμερούς.
-
Εφαρμογές – Το υπεριώδες φως των 193nm χρησιμοποιείται ευρέως στη φωτολιθογραφία για την κατασκευή ημιαγωγικών τσιπ και άλλων μικροκατεργασιών ακριβείας.
Με το μικρό μήκος κύματος και την αξιόπιστη απόδοση, τα λέιζερ excimer αργού-φθορίου αποτελούν μια ευέλικτη πηγή UV για προηγμένη επεξεργασία υλικών που απαιτούν μέγιστη ανάλυση.
Ώρα δημοσίευσης: 12 Σεπτεμβρίου 2023