آرگون فلورایدبا فرمول شیمیایی ArF، یک گاز لیزر اگزایمر محبوب است. لیزرهای اگزایمر از مخلوط گازهای واکنشپذیر که مولکولهای اگزایمر با عمر کوتاه را تشکیل میدهند، برای انتشار انفجارهای تابش لیزر فرابنفش استفاده میکنند. برخی از حقایق کلیدی در مورد ArF:
-
ترکیب - گاز ArF از 0.1٪ فلوئور و 99.9٪ آرگون تشکیل شده است که با یک گاز بافر مانند نئون یا هلیوم متعادل شده است.
-
طول موج فرابنفش - لیزرهای ArF نور همدوس را در طول موج ۱۹۳ نانومتر منتشر میکنند که یکی از کوتاهترین طول موجهای فرابنفش است.توسط اگزایمرها تولید میشوند.
-
خروجی پالسی - لیزر در پالسهای نانوثانیهای با توان پیک بالا تا گیگاوات اما با چرخه کاری پایین رخ میدهد.
-
سیستمهای خنککننده - گاز ArF باید گردش کرده و تا دمای کرایوژنیک حدود -60 درجه سانتیگراد خنک شود تا تشکیل اگزایمر امکانپذیر شود.
-
کاربردها - نور فرابنفش ۱۹۳ نانومتری به طور گسترده در فوتولیتوگرافی برای ساخت تراشههای نیمههادی و سایر ریزماشینکاریهای دقیق استفاده میشود.
لیزرهای اگزایمر آرگون فلوراید با طول موج کوتاه و عملکرد قابل اعتماد، یک منبع فرابنفش همه کاره برای پردازش مواد پیشرفته هستند که نیاز به حداکثر وضوح دارند.
زمان ارسال: ۱۲ سپتامبر ۲۰۲۳