Fluorură de argon, cu formula chimică ArF, este un gaz laser excimer popular. Laserele excimere utilizează amestecuri de gaze reactive care formează molecule excimere cu durată scurtă de viață pentru a emite explozii de radiații laser ultraviolete. Câteva informații cheie despre ArF:
-
Compoziție – Gazul ArF este format din 0,1% fluor și 99,9% argon, echilibrat cu un gaz tampon precum neonul sau heliul.
-
Lungime de undă ultravioletă – Laserele ArF emit lumină coerentă la 193 nanometri, una dintre cele mai scurte lungimi de undă UVgenerate de excimeri.
-
Ieșire pulsată – Emisia laser are loc în impulsuri de nanosecunde, cu o putere de vârf mare, atingând gigawați, dar un ciclu de funcționare scăzut.
-
Sisteme de răcire – Gazul ArF trebuie circulat și răcit la temperaturi criogenice de aproximativ -60°C pentru a permite formarea excimerului.
-
Aplicații – Lumina UV de 193 nm este utilizată pe scară largă în fotolitografie pentru fabricarea de cipuri semiconductoare și alte microprelucrari de precizie.
Cu lungimea de undă scurtă și performanța fiabilă, laserele excimerice cu fluorură de argon sunt o sursă UV versatilă pentru prelucrarea avansată a materialelor care necesită o rezoluție maximă.
Data publicării: 12 septembrie 2023