Fluoreto de argônioO ArF, com sua fórmula química, é um gás popular em lasers de excímero. Os lasers de excímero utilizam misturas de gases reativos que formam moléculas de excímero de curta duração para emitir pulsos de radiação laser ultravioleta. Alguns fatos importantes sobre o ArF:
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Composição – O gás ArF consiste em 0,1% de flúor e 99,9% de argônio, com o restante composto por um gás tampão como o néon ou o hélio.
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Comprimento de onda ultravioleta – Os lasers ArF emitem luz coerente em 193 nanômetros, um dos comprimentos de onda ultravioleta mais curtos.gerado por excímeros.
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Saída pulsada – A emissão laser ocorre em pulsos de nanossegundos com alta potência de pico, atingindo gigawatts, mas com baixo ciclo de trabalho.
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Sistemas de resfriamento – O gás ArF deve ser circulado e resfriado a temperaturas criogênicas em torno de -60°C para permitir a formação de excímeros.
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Aplicações – A luz UV de 193 nm é amplamente utilizada em fotolitografia para a fabricação de chips semicondutores e outras micromecanizações de precisão.
Graças ao seu comprimento de onda curto e desempenho confiável, os lasers de excímero de fluoreto de argônio são uma fonte UV versátil para o processamento de materiais avançados que exigem resolução máxima.
Data da publicação: 12/09/2023