Фторид аргонаArF, с химической формулой ArF, является популярным газом для эксимерных лазеров. В эксимерных лазерах используются реактивные газовые смеси, которые образуют короткоживущие эксимерные молекулы, испускающие импульсы ультрафиолетового лазерного излучения. Несколько важных фактов об ArF:
-
Состав – газ ArF состоит из 0,1% фтора и 99,9% аргона, а также буферного газа, такого как неон или гелий.
-
Длина волны ультрафиолетового излучения – ArF-лазеры излучают когерентный свет на длине волны 193 нанометра, одной из самых коротких длин волн ультрафиолетового излучения.генерируется эксимерами.
-
Импульсный выход – лазерная генерация происходит в виде наносекундных импульсов с высокой пиковой мощностью, достигающей гигаватт, но низким коэффициентом заполнения.
-
Системы охлаждения – Для образования эксимеров необходимо циркулировать и охлаждать газ ArF до криогенных температур около -60°C.
-
Области применения – Ультрафиолетовое излучение с длиной волны 193 нм широко используется в фотолитографии для производства полупроводниковых микросхем и других видов прецизионной микрообработки.
Благодаря короткой длине волны и надежной работе, эксимерные лазеры на основе фторида аргона являются универсальным источником УФ-излучения для современных методов обработки материалов, требующих максимального разрешения.
Дата публикации: 12 сентября 2023 г.