Существует множество различныхэксимерный лазерный газКомбинации, используемые в промышленности и науке, зависят от желаемой длины волны ультрафиолетового излучения и уровня энергии импульса. К числу наиболее распространенных и полезных смесей относятся:
- KrF (фторид криптона) – генерирует УФ-излучение с длиной волны 248 нм, широко используемое в литографии интегральных схем. Обладает высокой эффективностью и качеством пучка.
- ArF (фторид аргона) – обеспечивает ультрафиолетовое излучение с длиной волны 193 нм, идеально подходящее для производства современных полупроводниковых изделий. Более низкая энергия импульса.
- XeCl (хлорид ксенона) – излучает УФ-излучение с длиной волны 308 нм и высокой энергией импульса, используемое в лазерной ангиопластике.
- XeF (фторид ксенона) – излучение с длиной волны 351 нм, подходящее для импульсного фторирования реагентов. Импульсы очень высокой энергии.
- F2 (фтор) – Чистый газообразный фтор излучает вакуумное УФ-излучение с длиной волны 157 нм, одной из самых коротких длин волн.
- KrCl (хлорид криптона) – излучение с длиной волны 222 нм, оптимизированное для офтальмологических хирургических процедур. Более точная абляция тканей.
- ArCl (хлорид аргона) – УФ-излучение с длиной волны 175 нм, подходящее для применения в глубокой УФ-спектроскопии в исследовательских целях.
- KrBr (бромид криптона) – эксимерная среда с длиной волны 206 нм, обладающая повышенной оптической стабильностью и идеально подходящая для промышленного применения.
Выбор оптимальной газовой смеси для эксимерного лазера зависит от конкретных требований к энергии импульса, стабильности и точности длины волны ультрафиолетового излучения. Правильный выбор газовой среды позволяет максимально повысить производительность эксимерных лазеров.
Дата публикации: 08.09.2023