هناك مجموعة متنوعة منغاز ليزر الإكسيمرتُستخدم تركيبات مختلفة صناعيًا وعلميًا، وذلك حسب الطول الموجي المطلوب للأشعة فوق البنفسجية ومستوى طاقة النبضة. ومن أكثر هذه التركيبات شيوعًا وفائدةً ما يلي:
- KrF (فلوريد الكريبتون) – يُنتج أشعة فوق بنفسجية بطول موجي 248 نانومتر، وهو شائع الاستخدام في طباعة الدوائر المتكاملة. يتميز بكفاءة عالية وجودة شعاع ممتازة.
- ArF (فلوريد الأرجون) – يوفر ضوءًا فوق بنفسجيًا بطول موجي 193 نانومتر، وهو مثالي لتصنيع أشباه الموصلات المتقدمة. طاقة نبضية منخفضة.
- XeCl (كلوريد الزينون) – ينبعث منه ضوء فوق بنفسجي بطول 308 نانومتر مع طاقات نبضية عالية تستخدم في رأب الأوعية الدموية بالليزر.
- XeF (فلوريد الزينون) – ينتج عنه ضوء فوق بنفسجي بطول موجي 351 نانومتر، وهو مناسب لكواشف الفلورة النبضية. نبضات عالية الطاقة للغاية.
- F2 (الفلورين) – ينتج غاز الفلورين النقي إشعاعًا فوق بنفسجيًا فراغيًا بطول موجي 157 نانومتر، وهو أحد أقصر الأطوال الموجية.
- KrCl (كلوريد الكريبتون) – انبعاث بطول موجي 222 نانومتر مُحسَّن لإجراءات جراحة العيون. استئصال أكثر دقة للأنسجة.
- ArCl (كلوريد الأرجون) – 175 نانومتر مناسب لتطبيقات التحليل الطيفي للأشعة فوق البنفسجية العميقة لأغراض البحث.
- KrBr (بروميد الكريبتون) – وسط إكسيمر 206 نانومتر ذو استقرار بصري محسن، وهو الأفضل للاستخدامات الصناعية.
يعتمد اختيار مزيج الغاز الأمثل لليزر الإكسيمر على متطلبات التطبيق المحدد من حيث طاقة النبضة، والاستقرار، ودقة الطول الموجي للأشعة فوق البنفسجية. ويؤدي اختيار مزيج الغاز المناسب إلى تحقيق أقصى أداء لليزر الإكسيمر.
تاريخ النشر: 8 سبتمبر 2023