Δημοφιλή μείγματα αερίων λέιζερ Excimer

Υπάρχει μια ποικιλία απόαέριο λέιζερ excimerσυνδυασμοί που χρησιμοποιούνται βιομηχανικά και επιστημονικά ανάλογα με το επιθυμητό μήκος κύματος υπεριώδους ακτινοβολίας και το επίπεδο ενέργειας παλμού. Μερικά από τα πιο συνηθισμένα και χρήσιμα μείγματα περιλαμβάνουν:

• KrF (φθοριούχο κρυπτό) – Παράγει υπεριώδη ακτινοβολία 248 nm, δημοφιλή στη λιθογραφία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων. Υψηλή απόδοση και ποιότητα δέσμης.
• ArF (φθοριούχο αργόν) – Παρέχει υπεριώδες φως 193 nm, ιδανικό για προηγμένη κατασκευή ημιαγωγών. Χαμηλότερη ενέργεια παλμού.
• XeCl (χλωριούχο ξένον) – Εκπέμπει υπεριώδη ακτινοβολία 308 nm με υψηλές παλμικές ενέργειες που χρησιμοποιούνται στην αγγειοπλαστική με λέιζερ.
•  
• XeF (φθοριούχο ξένον) – Έξοδος 351 nm UV κατάλληλη για παλμικά αντιδραστήρια φθορίωσης. Παλμοί πολύ υψηλής ενέργειας.
•  
• F2 (φθόριο) – Το καθαρό αέριο φθόριο παράγει υπεριώδη ακτινοβολία κενού 157 nm, ένα από τα μικρότερα μήκη κύματος.
•  
• KrCl (χλωριούχο κρυπτόνιο) – εκπομπή 222 nm βελτιστοποιημένη για οφθαλμολογικές χειρουργικές επεμβάσεις. Ακριβέστερη αφαίρεση ιστών.
•  
• ArCl (χλωριούχο αργόν) – 175 nm UV κατάλληλο για εφαρμογές φασματοσκοπίας βαθιάς υπεριώδους ακτινοβολίας για έρευνα.
•  
• KrBr (βρωμιούχο κρυπτόνη) – μέσο excimer 206 nm με βελτιωμένη οπτική σταθερότητα, ιδανικό για βιομηχανικές χρήσεις.
•  

Η επιλογή του βέλτιστου μείγματος αερίων λέιζερ excimer εξαρτάται από τις απαιτήσεις της συγκεκριμένης εφαρμογής για ενέργεια παλμού, σταθερότητα και ακρίβεια μήκους κύματος υπεριώδους ακτινοβολίας. Το σωστό μέσο αερίου μεγιστοποιεί την απόδοση των λέιζερ excimer.