مخلوط‌های گازی محبوب لیزر اگزایمر

انواع مختلفی وجود داردگاز لیزر اگزایمرترکیباتی که بسته به طول موج فرابنفش مورد نظر و سطح انرژی پالس، به صورت صنعتی و علمی مورد استفاده قرار می‌گیرند. برخی از رایج‌ترین و مفیدترین مخلوط‌ها عبارتند از:

• KrF (کریپتون فلوراید) - UV با طول موج ۲۴۸ نانومتر تولید می‌کند که در لیتوگرافی مدارهای مجتمع رایج است. راندمان و کیفیت پرتو بالایی دارد.
• ArF (آرگون فلوراید) - نور فرابنفش ۱۹۳ نانومتری ایده‌آل برای ساخت نیمه‌هادی‌های پیشرفته فراهم می‌کند. انرژی پالس پایین‌تر.
• XeCl (کلرید زنون) - اشعه ماوراء بنفش 308 نانومتر با انرژی پالس بالا منتشر می‌کند که در آنژیوپلاستی لیزری استفاده می‌شود.
•  
• XeF (زنون فلوراید) – خروجی UV با طول موج ۳۵۱ نانومتر مناسب برای واکنشگرهای فلوئوراسیون پالسی. پالس‌های انرژی بسیار بالا.
•  
• F2 (فلوئور) - گاز فلوئور خالص، تابش فرابنفش خلأ ۱۵۷ نانومتری تولید می‌کند که یکی از کوتاه‌ترین طول موج‌ها است.
•  
• KrCl (کلرید کریپتون) - انتشار ۲۲۲ نانومتر بهینه شده برای اعمال جراحی چشم. تخریب بافت دقیق‌تر.
•  
• ArCl (کلرید آرگون) - 175 نانومتر UV مناسب برای کاربردهای طیف‌سنجی فرابنفش عمیق برای تحقیقات.
•  
• KrBr (کریپتون بروماید) - محیط اگزایمر 206 نانومتر با پایداری نوری افزایش یافته، مناسب برای مصارف صنعتی.
•  

انتخاب مخلوط گاز بهینه لیزر اگزایمر به الزامات خاص کاربرد برای انرژی پالس، پایداری و دقت طول موج فرابنفش بستگی دارد. محیط گازی صحیح، عملکرد لیزرهای اگزایمر را به حداکثر می‌رساند.