Khí Nitơ Triflorua NF3

Nitơ triflorua, hay NF3, là một loại khí không màu, không mùi có nhiều ứng dụng công nghiệp.Nó chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn như một chất làm sạch cho các dụng cụ lắng đọng và buồng khắc.Nó cũng được sử dụng trong sản xuất màn hình phẳng, tấm pin mặt trời và các thiết bị điện tử khác.Tuy nhiên, NF3 là một loại khí nhà kính mạnh có tiềm năng làm nóng lên toàn cầu cao, có nghĩa là nó có thể góp phần đáng kể vào biến đổi khí hậu nếu thải vào khí quyển.Do đó, những nỗ lực đang được thực hiện để giảm việc sử dụng nó và tìm ra các chất thay thế, thân thiện với môi trường hơn cho các ứng dụng này.