Изотоп BF3-11 Трихлорид бора Изотоп 11 Газ

Трихлорид бора 11 (B11Cl3) — бесцветный дымящий газ при комнатной температуре и давлении, горючий, раздражающий, с кислым запахом, при контакте с водой разлагается на хлористый водород и борную кислоту и выделяет большое количество тепла, образует дымы за счет гидролиза в во влажном воздухе и разлагается на соляную кислоту и эфир борной кислоты в спирте.Трихлорид бора 11 обладает высокой реакционной способностью, может образовывать различные координационные соединения, нагревание трихлорида бора и стекло, керамику и реакцию, а также со многими реакциями органических веществ с образованием различных органических соединений бора.Трихлорид бора высокой чистоты 11 в основном используется для процесса производства полупроводниковых устройств (кремния) диффузионного легирования, при высоких температурах, после разложения примесей бора, образующихся в результате диффузии кремния, образования полупроводников P-типа, но также может использоваться для Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi и других материалов, например, сухое травление.