Khí laser excimer, còn được gọi là khí exciplex, được sử dụng làm môi trường phát laser trong laser excimer. Chúng có khả năng phát ra chùm tia laser cực tím cường độ cao thông qua sự hình thành và phân rã của các phân tử hoặc dimer excimer có thời gian sống ngắn. Dưới đây là một số đặc điểm chính của...khí excimer:
- Thành phần – Chúng bao gồm một khí trơ như argon hoặc krypton trộn với một khí halogen hoạt tính, thường là flo hoặc clo. Các tổ hợp phổ biến là ArF và KrF.
- Sự hình thành Excimer – Nguyên tử khí trơ và khí halogen tạm thời liên kết với nhau khi bị kích thích điện để tạo thành excimer, một dimer ở trạng thái kích thích và nhanh chóng phân rã.
- Phát xạ tia cực tím – Quá trình phân rã này giải phóng một photon trong dải tia cực tím. Các hỗn hợp khí khác nhau phát ra các bước sóng tia cực tím khác nhau, phù hợp với nhiều ứng dụng khác nhau.
- Phát xung – Laser excimer tạo ra các chùm tia xung với thời lượng xung rất ngắn (vài nano giây) và công suất đỉnh cao (hàng megawatt).
- Hệ thống làm mát – Các khí được đưa vào hệ thống tuần hoàn kín và làm mát đến nhiệt độ cực thấp để kích hoạt phản ứng excimer.
Các đặc tính độc đáo của khí laser excimer, đặc biệt là khả năng tạo ra ánh sáng laser cực tím mạnh mẽ, khiến chúng hữu ích trong nhiều quy trình công nghệ và công nghiệp khác nhau đòi hỏi nguồn tia cực tím mạnh.
Thời gian đăng bài: 08/09/2023