گازهای لیزر اگزایمر، که با نام گازهای اکسیپلکس نیز شناخته میشوند، به عنوان محیط لیزری در لیزرهای اگزایمر استفاده میشوند. آنها قادرند از طریق تشکیل و واپاشی مولکولهای اگزایمر یا دیمرهای کوتاهعمر، پرتوهای لیزر فرابنفش با شدت بالا ساطع کنند. در اینجا برخی از ویژگیهای کلیدی آنها آورده شده است.گازهای اکسایمر:
- ترکیب - آنها از یک گاز نجیب مانند آرگون یا کریپتون مخلوط با یک گاز هالوژن واکنشپذیر، معمولاً فلوئور یا کلر، تشکیل شدهاند. ترکیبات محبوب ArF و KrF هستند.
- تشکیل اگزایمر - اتم گاز نجیب و گاز هالوژن به طور موقت تحت تحریک الکتریکی به هم متصل میشوند تا اگزایمر را تشکیل دهند، یک دیمر در حالت برانگیخته که به سرعت واپاشی میکند.
- انتشار فرابنفش - این فرآیند واپاشی، فوتونی در محدوده فرابنفش آزاد میکند. مخلوطهای گازی مختلف، طول موجهای فرابنفش متفاوتی را که برای کاربردهای مختلف مناسب هستند، منتشر میکنند.
- خروجی پالسی - لیزرهای اگزایمر پرتوهای پالسی با مدت زمان پالس بسیار کوتاه نانوثانیه و توان اوج بالا در حد مگاوات تولید میکنند.
- سیستمهای خنککننده - گازها در سیستمهای گردش خون بسته قرار میگیرند و تا دمای کرایوژنیک خنک میشوند تا واکنش اگزایمر امکانپذیر شود.
خواص منحصر به فرد گازهای لیزر اگزایمر، به ویژه توانایی آنها در تولید نور لیزر فرابنفش قدرتمند، آنها را در فرآیندهای متنوع تکنولوژیکی و صنعتی که به منابع فرابنفش قوی نیاز دارند، مفید میسازد.
زمان ارسال: سپتامبر-08-2023