Excimerlasergase, auch Exciplexgase genannt, dienen als Lasermedium in Excimerlasern. Sie emittieren hochintensive ultraviolette Laserstrahlen durch die Bildung und den Zerfall kurzlebiger Excimermoleküle oder -dimere. Im Folgenden sind einige ihrer wichtigsten Eigenschaften aufgeführt.Excimergase:
- Zusammensetzung – Sie bestehen aus einem Edelgas wie Argon oder Krypton, vermischt mit einem reaktiven Halogengas, üblicherweise Fluor oder Chlor. Gängige Kombinationen sind ArF und KrF.
- Excimerbildung – Das Edelgasatom und das Halogengas binden sich bei elektrischer Anregung vorübergehend und bilden das Excimer, ein Dimer im angeregten Zustand, das schnell zerfällt.
- UV-Emission – Bei diesem Zerfallsprozess wird ein Photon im ultravioletten Bereich freigesetzt. Unterschiedliche Gasmischungen emittieren unterschiedliche UV-Wellenlängen, die für verschiedene Anwendungen geeignet sind.
- Gepulste Leistung – Excimerlaser erzeugen gepulste Strahlen mit sehr kurzen Pulsdauern im Nanosekundenbereich und hohen Spitzenleistungen im Megawattbereich.
- Kühlsysteme – Die Gase werden in geschlossene Kreislaufsysteme eingeleitet und auf kryogene Temperaturen gekühlt, um die Excimerreaktion zu ermöglichen.
Die einzigartigen Eigenschaften von Excimerlasergasen, insbesondere ihre Fähigkeit, leistungsstarkes ultraviolettes Laserlicht zu erzeugen, machen sie in verschiedenen technologischen und industriellen Prozessen nützlich, die starke UV-Quellen erfordern.
Veröffentlichungsdatum: 08.09.2023