Трифторид азота Газ NF3

Трифторид азота, или NF3, представляет собой бесцветный газ без запаха, который имеет несколько промышленных применений.В основном он используется в полупроводниковой промышленности в качестве чистящего средства для инструментов осаждения и камер травления.Он также используется в производстве плоских дисплеев, солнечных батарей и другой электроники.Однако NF3 является мощным парниковым газом с высоким потенциалом глобального потепления, а это означает, что он может внести значительный вклад в изменение климата, если его выбросить в атмосферу.Таким образом, предпринимаются усилия по сокращению его использования и поиску альтернативных, более экологически чистых веществ для этих применений.