Diversos fatores apontam para um potencial crescimento significativo emgases de laser de excímerocomo ArF, KrF e F2 para atender às demandas tecnológicas avançadas:
- Fabricação de chips – A redução do tamanho dos transistores e a crescente complexidade dos chips exigem inovação em lasers de excímero para impulsionar a Lei de Moore.
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Comercialização da litografia EUV – Tecnologia promissora que ainda precisa da fase F2 para a produção de máscaras especializadas.
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Expansão da produção de telas OLED – A ablação em grandes áreas melhora o rendimento da fabricação.
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Desenvolvimento de lasers de alta potência – Novas arquiteturas aumentam o consumo de gases raros.
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Investimento em tecnologia médica – A crescente adoção do laser excimer em todo o mundo impulsiona o avanço dos cuidados de saúde.
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Técnicas de micromecanização – A ablação de alta precisão possibilita a criação de microfluídica, micronozzles e outros microssistemas.
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Energia renovável – A texturização com excímeros melhora a eficiência das células solares.
Com aplicações tão diversas e crescentes, o uso de gases excimer parece estar preparado para uma expansão constante a longo prazo.
Data da publicação: 30/11/2023