Mai mulți factori indică o potențială creștere semnificativă agaze laser excimericeprecum ArF, KrF și F2 pentru a satisface cerințele tehnologice avansate:
- Fabricarea de cipuri – Scalarea dimensiunii tranzistoarelor și creșterea complexității cipurilor necesită inovarea laserelor cu excimer pentru a impune Legea lui Moore.
-
Comercializarea litografiei EUV – Tehnologia promițătoare necesită încă F2 pentru producția specializată de măști.
-
Extinderea producției de afișaje OLED – Ablația pe suprafețe mari îmbunătățește randamentul de fabricație.
-
Dezvoltarea laserelor de mare putere – Noile arhitecturi cresc consumul de gaze rare.
-
Investiții în tehnologia medicală – O asistență medicală mai avansată la nivel global stimulează adoptarea laserului cu excimeri.
-
Tehnici de microprelucrare – Ablația de înaltă precizie permite utilizarea microfluidicii, a microduzelor și a altor microsisteme.
-
Energie regenerabilă – Texturarea cu excimer îmbunătățește eficiența celulelor solare.
Cu aplicații atât de diverse și în creștere, utilizarea gazului excimer pare pregătită pentru o expansiune constantă pe termen lung.
Data publicării: 30 noiembrie 2023