تشير عدة عوامل إلى نمو كبير محتمل فيغازات ليزر الإكسيمرمثل ArF و KrF و F2 لتلبية متطلبات التكنولوجيا المتقدمة:
- تصنيع الرقائق - يتطلب تصغير حجم الترانزستور وزيادة تعقيد الرقائق ابتكار ليزر الإكسيمر لدفع قانون مور.
-
تسويق تقنية الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية القصوى - لا تزال هذه التقنية الواعدة بحاجة إلى F2 لإنتاج الأقنعة المتخصصة.
-
توسيع إنتاج شاشات OLED – الاستئصال على مساحة كبيرة يحسن إنتاجية التصنيع.
-
تطوير الليزر عالي الطاقة – تزيد البنى الجديدة من استهلاك الغازات النادرة.
-
الاستثمار في التكنولوجيا الطبية – الرعاية الصحية الأكثر تقدماً على مستوى العالم تدفع إلى استخدام ليزر الإكسيمر.
-
تقنيات التصنيع الدقيق - يتيح الاستئصال عالي الدقة إمكانية تصنيع الموائع الدقيقة والفوهات الدقيقة والأنظمة الدقيقة الأخرى.
-
الطاقة المتجددة - تحسين كفاءة الخلايا الشمسية من خلال استخدام تقنية تشكيل نسيج الإكسيمر.
مع هذه التطبيقات المتنوعة والمتنامية، يبدو أن استخدام غاز الإكسيمر مهيأ للتوسع المطرد على المدى الطويل.
تاريخ النشر: 30 نوفمبر 2023