반도체 리소그래피 공정
• 엑시머 레이저 가스: 엑시머 레이저 가스:네온 가스는 심자외선(DUV), KRF(불화크립톤), ArF(불화아르곤) 엑시머 레이저의 핵심 혼합 가스 성분으로, 레이저 파장의 안정성과 칩 공정의 정확도에 직접적인 영향을 미칩니다.
• 국내 대체 수요: 미국이 중국으로의 반도체 장비 수출에 대한 제한을 강화함에 따라, SMIC, 양쯔 메모리 테크놀로지(Yangtze Memory Technologies)와 같은 국내 반도체 제조업체들은 공급망의 현지화를 가속화하고 있습니다. 고순도 네온은 핵심 부품 중 하나가 되었습니다. 뉴레드(Newred)와 같은 기업들은 순도를 6N 등급 이상으로 높이고 기술 인증을 획득함으로써 수입품을 점차 대체하고 있습니다.
2. 디스플레이 패널 제조
• 플라즈마 에칭 및 세척: OLED, LCD 패널은 네온 플라즈마 에칭 기술을 사용하여 제작되며, 이를 통해 디스플레이 회로의 고정밀 가공이 보장됩니다.
• 혼합 가스 비율: 헬륨, 제논 등의 가스와 혼합하여 패널 제조 시 불활성 환경을 보호하고 재료 산화를 방지하는 데 사용됩니다.
3. 레이저와 광섬유 간의 통신
• 고출력 레이저: 네온은 이산화탄소 레이저와 광섬유 레이저에서 냉각 및 에너지 전달에 사용되는 완충 기체입니다.
• 5g 광 모듈: 광섬유 프리폼 제조 과정에서 고온 증착 공정 중 불활성 보호를 위해 네온 조명이 사용됩니다.
4. 과학 연구 및 의료 서비스
• 저온 공학: 초전도 자석(MRI 장비 등) 냉각용 액체 네온(끓는점 -246℃).
플라즈마 밀폐 시험에서 핵융합 시험은 작동 가스로 사용됩니다.
기술적 및 시장적 이점
1.고순도 제조 기술반도체 리소그래피 및 고급 디스플레이 패널의 엄격한 요구 사항을 충족하기 위해 네온 정화 용량은 6N(99.9999%)을 초과합니다.
가스 정화 장치와 자체 개발한 검출 기술(예: GC-MS 분석)을 통해 불순물(O₂, H₂O 등)을 ppb 수준으로 제어할 수 있습니다.
2. 공급망 보안 보장
• 국내 대체: 우크라이나는 한때 전 세계 네온 조명의 70%를 공급했습니다. 러시아와 우크라이나 간의 분쟁으로 인해 가격이 급격히 상승했습니다(2022년 600% 상승). 뉴레드는 공기 분리 폐가스 추출 기술(제철소의 공기 분리 장치에서 네온, 크립톤, 제논을 회수)을 통해 수입 의존도를 줄였습니다.네온 원자재의 안정적인 공급 시스템을 구축하고 국내 철강 기업(예: 바오우 그룹)과 협력합니다.
3. 고객 협력 사례
이 제품은 SMIC, BOE, 차이나스타 광전자 등 주요 기업의 공급망에 편입되었으며, SEMI(반도체산업협회) 표준 인증을 통과했습니다.
국가 "02 특별 프로젝트"(대규모 집적 회로 제조 기술 및 완벽한 공정 프로젝트)에 참여하여 포토리소그래피 가스의 국산화를 촉진했습니다.
인도산업 과제 및 미래 동향
1. 기술적 장벽
반도체 등급 네온등은 8N 이상의 순도를 요구하는데(린데, 프락세어와 같은 세계적인 선도 기업들은 이미 이를 달성했다), 국내 기업들은 정제 공정의 안정성을 더욱 향상시켜야 한다.
2. 지정학의 영향
미국은 중국의 수출 통제 목록에 전자 기능을 포함시킬 가능성이 있으며, 이는 중국이 전체 산업 사슬에 대한 독립적인 통제력을 확보하기 위한 노력을 가속화하도록 압박할 수 있다.
3. 새로운 응용 분야 확장
큐비트 냉각, 양자 컴퓨팅: 네온 조명 분야에서의 잠재적 응용 가능성.
• 핵의학: 입자 가속기 제조에 사용되는 방사성 동위원소.
뉴레이더의 네온 제품은 반도체 리소그래피 및 디스플레이 패널의 국내 대체에 중요한 역할을 합니다. 뉴레이더의 기술적 혁신과 공급망 구축은 중국 고급 제조업의 안정성을 확보하는 데 필수적입니다. 앞으로 우리는 제품의 순도 향상, 국제 협력(ASML 협력업체와의 인증 등), 그리고 신흥 시장의 개발 및 발전에 지속적으로 관심을 기울여야 합니다.
게시 시간: 2025년 5월 26일