Procédé de lithographie des semi-conducteurs
• Gaz laser excimère : Gaz laser excimère :Gaz néonest le composant gazeux mixte de base des lasers excimères ultraviolets profonds (DUV), KRF (fluorure de krypton) et ArF (fluorure d'argon), qui affecte directement la stabilité de la longueur d'onde du laser et la précision du processus de fabrication de la puce.
• Demande intérieure alternative : Face au renforcement des restrictions américaines sur les exportations d’équipements pour semi-conducteurs vers la Chine, les fabricants chinois (tels que SMIC et Yangtze Memory Technologies) ont accéléré la localisation de leurs chaînes d’approvisionnement. Le néon de haute pureté est devenu un matériau essentiel. Des entreprises comme Newred ont progressivement remplacé les importations en améliorant la pureté (supérieure à 6N) et en obtenant les certifications techniques nécessaires.
2. Fabriquer des panneaux d'affichage
• Gravure et nettoyage au plasma : les panneaux OLED et LCD sont fabriqués à l’aide de la technologie de gravure au plasma néon, garantissant un traitement de haute précision des circuits d’affichage.
• Rapport de gaz mélangé : Mélangé à des gaz tels que l'hélium et le xénon, il est utilisé pour protéger l'environnement inerte dans la fabrication des panneaux et empêcher l'oxydation des matériaux.
3. Communication entre lasers et fibres optiques
• Lasers de haute puissance : Le néon est un gaz tampon utilisé pour le refroidissement et le transfert d’énergie dans les lasers à dioxyde de carbone et les lasers à fibre.
• Modules optiques 5G : Lors de la fabrication des préformes de fibres optiques, des lampes au néon sont utilisées pour la protection inerte pendant le processus de dépôt à haute température.
4. Recherche scientifique et soins médicaux
• Ingénierie à basse température : Néon liquide (point d'ébullition -246℃) pour le refroidissement des aimants supraconducteurs (tels que les équipements IRM).
Lors des essais de confinement du plasma, les essais de fusion nucléaire servent de gaz de travail.
Avantages technologiques et commerciaux
1.Technologie de préparation de haute puretéPour répondre aux exigences strictes de la lithographie des semi-conducteurs et des panneaux d'affichage haut de gamme, la capacité de purification du néon dépasse 6N (99,9999 %).
Le dispositif de purification des gaz et les technologies de détection développées en interne (telles que l'analyse GC-MS) garantissent que les impuretés (O₂, H₂O, etc.) sont contrôlées au niveau du ppb.
2. Garantie de sécurité de la chaîne d'approvisionnement
• Substitution locale : L’Ukraine fournissait autrefois 70 % des néons du monde. Le conflit russo-ukrainien a entraîné une forte hausse des prix (de 600 % en 2022). Newred a réduit sa dépendance aux importations grâce à une technologie d’extraction des gaz résiduaires issus de la séparation de l’air (le néon, le krypton et le xénon sont récupérés de l’unité de séparation de l’air de l’aciérie).Mettre en place un système d'approvisionnement stable en matières premières pour le néon et coopérer avec les entreprises sidérurgiques nationales (telles que le groupe Baowu).
3. Cas de coopération client
Elle a intégré les chaînes d'approvisionnement d'entreprises de premier plan telles que SMIC, BOE et China Star Optoelectronics, et a obtenu la certification standard SEMI (Semiconductor Industry Association).
A participé au projet national « 02 Special Project » (projet de technologie et de processus complet de fabrication de circuits intégrés à grande échelle) pour promouvoir la localisation des gaz de photolithographie.
Indianadéfis industriels et tendances futures
1. Obstacles techniques
Les lampes au néon de qualité semi-conductrice nécessitent une pureté supérieure à 8N (des entreprises internationales de premier plan telles que Linde et Praxair ont déjà atteint ce niveau), et les entreprises nationales doivent encore améliorer la stabilité du processus de purification.
2. L'influence de la géopolitique
Dans la liste des contrôles à l'exportation de la Chine, les États-Unis pourraient inclure des fonctionnalités électroniques, ce qui obligerait les autorités nationales à accélérer le contrôle indépendant de l'ensemble de la chaîne industrielle.
3. Développer de nouvelles applications
Refroidissement des qubits, informatique quantique : applications potentielles dans les néons.
• Médecine nucléaire : Isotopes radioactifs utilisés pour la préparation des accélérateurs de particules.
Les produits néon de Newradar jouent un rôle majeur dans la substitution nationale des technologies de lithographie pour semi-conducteurs et des écrans. Ses avancées technologiques et l'organisation de sa chaîne d'approvisionnement sont essentielles à la sécurité de l'industrie manufacturière de pointe chinoise. À l'avenir, il est indispensable de poursuivre les efforts visant à améliorer la pureté de ses produits, à renforcer sa coopération internationale (notamment par la certification auprès des fournisseurs d'ASML) et à favoriser le développement des marchés émergents.
Date de publication : 26 mai 2025