Halbleiterlithographieprozess
• Excimerlasergas: Excimerlasergas:Neongasist die zentrale Mischgaskomponente von tiefen ultravioletten (DUV)-, KRF- (Kryptonfluorid) und ArF- (Argonfluorid) Excimerlasern, die sich direkt auf die Stabilität der Laserwellenlänge und die Genauigkeit des Chipprozesses auswirkt.
• Inländische Nachfrage nach alternativen Materialien: Da die USA ihre Exportbeschränkungen für Halbleiteranlagen nach China verschärfen, haben chinesische Halbleiterhersteller (wie SMIC und Yangtze Memory Technologies) die Lokalisierung ihrer Lieferketten beschleunigt. Hochreines Neon hat sich zu einem der wichtigsten Schlüsselmaterialien entwickelt. Unternehmen wie Newred haben Importe schrittweise ersetzt, indem sie die Reinheit (über 6N) erhöht und technische Zertifizierungen erworben haben.
2. Herstellung von Anzeigetafeln
• Plasmaätzen und Reinigen: OLED- und LCD-Panels werden mittels Neon-Plasmaätztechnologie hergestellt, wodurch eine hochpräzise Bearbeitung der Anzeigeschaltungen gewährleistet wird.
• Gasmischungsverhältnis: Gemischt mit Gasen wie Helium und Xenon dient es dazu, die inerte Atmosphäre bei der Plattenherstellung zu schützen und die Oxidation des Materials zu verhindern.
3. Kommunikation zwischen Lasern und optischen Fasern
• Hochleistungslaser: Neon ist ein Puffergas, das zur Kühlung und zum Energietransfer in Kohlendioxidlasern und Faserlasern verwendet wird.
• 5g optische Module: Bei der Herstellung von optischen Faservorformen werden Neonröhren zum Schutz vor Nützlichkeit während des Hochtemperatur-Abscheidungsprozesses eingesetzt.
4. Wissenschaftliche Forschung und medizinische Versorgung
• Tieftemperaturtechnik: Flüssiges Neon (Siedepunkt -246℃) zur Kühlung supraleitender Magnete (z. B. in MRT-Geräten).
Bei Plasmaeinschlussversuchen dienen Kernfusionsversuche als Arbeitsgas.
Technologische und Marktvorteile
1.Hochreine PräparationstechnologieUm den strengen Anforderungen der Halbleiterlithografie und von High-End-Displaypanels gerecht zu werden, übersteigt die Neonreinigungskapazität 6N (99,9999 %).
Die Gasreinigungsvorrichtung und selbstentwickelte Detektionstechnologien (wie z. B. GC-MS-Analyse) gewährleisten, dass Verunreinigungen (O₂, H₂O usw.) im ppb-Bereich kontrolliert werden.
2. Garantie für die Sicherheit der Lieferkette
• Substitution durch heimische Produktion: Die Ukraine lieferte einst 70 % der weltweiten Neonröhren. Der Konflikt zwischen Russland und der Ukraine führte zu einem drastischen Preisanstieg (plus 600 % im Jahr 2022). Newred konnte seine Importabhängigkeit durch die Gewinnung von Abgasen aus der Luftzerlegung reduzieren (Neon, Krypton und Xenon werden aus der Luftzerlegungsanlage des Stahlwerks zurückgewonnen).Aufbau eines stabilen Versorgungssystems für Neonrohstoffe und Zusammenarbeit mit inländischen Stahlunternehmen (wie der Baowu-Gruppe).
3. Fälle der Kundenkooperation
Es wurde in die Lieferketten führender Unternehmen wie SMIC, BOE und China Star Optoelectronics aufgenommen und hat die SEMI-Standardzertifizierung (Semiconductor Industry Association) bestanden.
Teilnahme am nationalen „02 Sonderprojekt“ (Großintegrierte Schaltungsfertigungstechnologie und Komplettprozessprojekt) zur Förderung der Lokalisierung von Fotolithografiegasen.
IndHerausforderungen und Zukunftstrends der Branche
1. Technische Hindernisse
Für Neonröhren in Halbleiterqualität ist eine Reinheit von über 8N erforderlich (international führende Unternehmen wie Linde und Praxair haben dies bereits erreicht), und inländische Unternehmen müssen die Stabilität des Reinigungsprozesses noch verbessern.
2. Der Einfluss der Geopolitik
Die USA könnten elektronische Bauteile in Chinas Exportkontrollliste aufnehmen und damit die inländischen Bemühungen um eine beschleunigte unabhängige Kontrolle der gesamten industriellen Wertschöpfungskette verstärken.
3. Neue Anwendungsbereiche entwickeln
Qubit-Kühlung, Quantencomputing: Potenzielle Anwendungen in Neonröhren.
• Nuklearmedizin: Radioaktive Isotope, die zur Herstellung von Teilchenbeschleunigern verwendet werden.
Die Neonprodukte von Newradar spielen eine bedeutende Rolle bei der Substitution von Halbleiterlithografie und Displaypanels im Inland. Ihre technologischen Durchbrüche und die optimierte Lieferkette sind entscheidend für die Sicherung der High-End-Fertigungsindustrie Chinas. Zukünftig müssen wir weiterhin die Verbesserung der Reinheit, die internationale Zusammenarbeit (z. B. die Zertifizierung mit ASML-Lieferanten) sowie die Entwicklung und den Fortschritt in aufstrebenden Märkten im Blick behalten.
Veröffentlichungsdatum: 26. Mai 2025