六フッ化硫黄ガスを充填することで、湿気の侵入を防ぐことができる。

六フッ化硫黄装置から有毒物質を生成するには水分が必要です。六フッ化硫黄ガス規定の水分含有量を超えると、水分含有量が変化すると固体絶縁面に凝縮し、表面が濡れて、装置の表面放電電圧が著しく低下します。アーク放電とコロナ放電の作用により六フッ化硫黄ガスが分解されて生成される低フッ素複合ガスは、SO2、HFなどの有害物質を生成せず、水分子の外部状態による装置の腐食を防ぐ必要もありません。したがって、六フッ化硫黄ガスを装置に注入する際には、水分が侵入しないよう厳重な対策を講じる必要があります。

（１）作業を開始する前に、まず周囲の空気の相対湿度が80％以下（すなわち、空気中の水蒸気密度と同一温度における飽和水蒸気密度の比の割合）であることを確認してください。これは空気中の水分含有量の限界を示す具体的な指標です。このテストに合格しない場合は、対策を講じるか、乾燥した晴天の天候を選んで充填作業を行う必要があります。

（２）漏洩したSF6ガスを適時に排出・交換するため、主ノズルが充填されたらファンをオンにし、空気中のSF6濃度が１０００ ppmを超えないという要件を厳守しなければならない。点検は作業開始後しばらくしてから行い、側面点検は必要に応じて経路の中間地点で行う。SF6ガス濃度が上昇または基準値を超えた場合は、原因を特定して除去するため、直ちに構成部品の詳細な点検を行う。