アルゴンフッ化物レーザーの応用

独自の193ナノメートル波長出力フッ化アルゴンエキシマレーザーは、数多くの高度な応用を可能にしてきた。

• フォトリソグラフィー – ArFレーザーは、半導体チップ製造において微細なパターンを形成するために不可欠な技術である。

• レーザー手術 ― 193nmの光は、生体組織を精密に除去することができる。

• UV硬化 – 高い光子エネルギーによりArF樹脂の重合を開始させるためにレーザーを使用する。

• レーザー加工 – ArFレーザーは、プラスチックやその他の材料に非常に微細な構造を選択的にアブレーションすることができる。

• 分光法 ― 短波長は蛍光を誘発し、有機化合物の分析に利用できる。

• 光学的センシング ― ArFレーザーは、化学検出器に使用されるフォトニック結晶構造を検査する。

• 光化学 ― ArFパルスレーザーは、非常に選択的な結合切断光反応を促進する。

エキシマレーザー技術の改良に伴い、アルゴンフッ化物システムを用いたマイクロマシニングや光化学分野における新たな用途が次々と生まれている。