Уникальный выходной сигнал с длиной волны 193 нанометрафторид аргонаЭксимерные лазеры открыли возможности для множества передовых применений:
-
Фотолитография – ArF-лазеры играют решающую роль в производстве полупроводниковых микросхем для формирования мелких элементов.
-
Лазерная хирургия – свет с длиной волны 193 нм позволяет с высокой точностью удалять биологические ткани.
-
УФ-отверждение – высокая энергия фотонов позволяетАрФлазеры для инициирования полимеризации в смолах.
-
Лазерная обработка – ArF-лазеры позволяют избирательно высекать очень мелкие детали в пластике и других материалах.
-
Спектроскопия – короткие волны могут вызывать флуоресценцию, необходимую для анализа органических соединений.
-
Оптическое зондирование – ArF-лазеры исследуют структуры фотонных кристаллов, используемые в химических детекторах.
-
Фотохимия – импульсные ArF-лазеры вызывают высокоселективные фотореакции разрыва связей.
Благодаря усовершенствованию технологии эксимерных лазеров, постоянно появляются новые возможности применения систем на основе фторида аргона в микрообработке и фотохимических процессах.
Дата публикации: 02.11.2023