Excimerlasergase sind das wichtigste aktive Medium in Excimerlasern und haben eine Reihe industrieller, medizinischer und wissenschaftlicher Anwendungen ermöglicht, die eine präzise Abgabe von hochenergetischem ultraviolettem Laserlicht erfordern. Zu den Anwendungsgebieten von Excimerlasergasen gehören unter anderem:
- Laser-Augenoperation –ArF-Excimerlaserwerden verwendet, um mikroskopisch kleine Schichten des Hornhautgewebes bei refraktiven Eingriffen wie der LASIK-Augenoperation abzutragen.
- Halbleiterfertigung – KrF- und ArF-Excimerlaser sind in der Fotolithografie unerlässlich, um Schaltungsmuster auf Siliziumchips zu ätzen.
- Materialbearbeitung – Leistungsstarke Excimerlaserstrahlen können Metalle, Polymere und Keramiken sauber schneiden, bohren und mikrobearbeiten.
- Laser-Angioplastie – XeCl-Excimerlaser reinigen verstopfte Arterien über faseroptische Katheter und minimieren so invasive Eingriffe.
- Photochemie – Excimerlaser ermöglichen das selektive Aufbrechen von Molekülbindungen ohne thermische Effekte und sind daher ideal für photochemische Synthesewege.
- Spektroskopie – Kurzwellige Excimerlaserpulse können Fluoreszenz induzieren, um biologische, organische und anorganische Proben zu analysieren.
- Forschung – Fortschrittliche Excimerlaser-Anwendungen werden in den Bereichen Optik, Photonik, Kernfusion, Teilchenbeschleunigung und mehr erforscht.
Die von Excimermedien erzeugten, abstimmbaren, hochenergetischen ultravioletten Strahlen ermöglichen präzise Mikrobearbeitung und Photochemie in verschiedensten Bereichen. Ihre vielfältigen Anwendungsmöglichkeiten erweitern sich stetig.
Veröffentlichungsdatum: 08.09.2023