Применение газов в эксимерных лазерах

Газы, используемые в эксимерных лазерах, являются ключевой активной средой, открывающей широкий спектр промышленных, медицинских и научных применений, требующих точной подачи высокоэнергетического ультрафиолетового лазерного излучения. К областям применения газов в эксимерных лазерах относятся:

• Лазерная коррекция зрения –ArF эксимерные лазерыОни используются для удаления микроскопических слоев роговичной ткани при рефракционных процедурах, таких как лазерная коррекция зрения LASIK.
•  
• Производство полупроводников – эксимерные лазеры KrF и ArF играют важную роль в фотолитографии для травления схемных рисунков на кремниевых чипах.
•  
• Обработка материалов – Мощные эксимерные лазерные лучи позволяют чисто резать, сверлить и обрабатывать металлы, полимеры и керамику с помощью микротехнологий.
•  
• Лазерная ангиопластика – эксимерные лазеры XeCl очищают закупоренные артерии с помощью волоконно-оптических катетеров, сводя к минимуму инвазивное хирургическое вмешательство.
•  
• Фотохимия – эксимерные лазеры позволяют избирательно разрывать молекулярные связи без термического воздействия, что идеально подходит для фотохимических методов синтеза.
•  
• Спектроскопия – коротковолновые импульсы эксимерного лазера могут вызывать флуоресценцию для анализа биологических, органических и неорганических образцов.
•  
• Исследования – Изучаются передовые области применения эксимерных лазеров в оптике, фотонике, ядерном синтезе, ускорении частиц и многом другом.
•  

Настраиваемые высокоэнергетические ультрафиолетовые лучи, создаваемые эксимерными средами, позволили реализовать высокоточную микрообработку и фотохимию в самых разных областях. Их многочисленные применения продолжают расширяться.