Les gaz utilisés dans les lasers excimères constituent le milieu actif essentiel de ces lasers, qui ont permis le développement de nombreuses applications industrielles, médicales et scientifiques nécessitant la délivrance précise d'un faisceau laser ultraviolet de haute énergie. Voici quelques exemples d'utilisation des gaz utilisés dans les lasers excimères :
- Chirurgie oculaire au laser –Lasers excimères ArFsont utilisées pour l'ablation de couches microscopiques de tissu cornéen lors d'interventions réfractives comme la chirurgie oculaire LASIK.
- Fabrication de semi-conducteurs – Les lasers excimères KrF et ArF sont essentiels en photolithographie pour graver les motifs de circuits sur les puces de silicium.
- Traitement des matériaux – Les puissants faisceaux laser excimères permettent de découper, percer et micro-usiner avec précision les métaux, les polymères et les céramiques.
- Angioplastie laser – Les lasers excimères XeCl débouchent les artères obstruées via des cathéters à fibres optiques, minimisant ainsi la chirurgie invasive.
- Photochimie – Les lasers excimères permettent la rupture sélective des liaisons moléculaires sans effets thermiques, ce qui est idéal pour les voies de synthèse photochimique.
- Spectroscopie – Les impulsions laser excimères de courte longueur d'onde peuvent induire une fluorescence pour l'analyse d'échantillons biologiques, organiques et inorganiques.
- Recherche – Les applications avancées des lasers excimères sont explorées dans les domaines de l'optique, de la photonique, de la fusion nucléaire, de l'accélération des particules, et bien plus encore.
Les faisceaux ultraviolets de haute énergie accordables produits par les milieux excimères ont permis le développement de la micro-usinage de précision et de la photochimie dans divers domaines. Leurs nombreuses applications ne cessent de s'étendre.
Date de publication : 8 septembre 2023