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Bortrichlorid BCL3 GAS

Verfahren :

Bortrichlorid (BCL3) ist eine farblose, rauchende Flüssigkeit oder ein rauchendes Gas. Nicht brennbar, reizend, säuerlicher Geruch.Bortrichlorid (BCl3) ist ein Gas mit niedrigem Dampfdruck.Das Molekül kann in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, beispielsweise als Trocknungsätzgase für Aluminiumverdrahtungen in der Halbleiter- und LCD-Herstellung.Bortrichlorid ist ein verflüssigtes Gas, das in Wasser in Chlorwasserstoff und Borsäure zerfällt.Es ist die Hauptgaskomponente beim Hoch-K- und anisotropen Plasmaätzen von Metallen, beim Ätzen von Atomschichten und beim Ätzen mit gepulstem Plasma.BCL3-Gas wird außerdem hauptsächlich zum Feinätzen von Aluminiumschaltkreisen im Herstellungsprozess von Flüssigkristallpaneelen verwendet.

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Verpackung & Versand

Produktdetail

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Produktparameter

Produkt	Bortrichlorid
CAS-Nr.	10294-34-5
UN-Nr.	1741
EINECS-Nr.	233-658-4
Molekulargewicht	117.19
Aussehen	farblose, rauchende Flüssigkeit oder Gas mit scharfem und saurem Geschmack
Schmelzpunkt	-107,3℃
Siedepunkt	12,5℃
Dichte	1,35 kg/m³
DOT-Klasse	2.3 & 8
Etikett	Giftiges Gas, ätzende Stoffe

Produktspezifikation

Produkt	Bortrichlorid BCl3
Packungsgrösse	47-Liter-Zylinder
Füllinhalt/Zyl	50 kg
Menge geladen in 20'Container	240 Zyl
Volle Lautstärke	12 Tonnen
Zylinder-Taragewicht	55 kg
Ventil	DISS-634/CGA 660

Anwendungsprogramm

Bortrichlorid oder BCl3 ist eine vielseitige chemische Verbindung, die in einer Vielzahl industrieller Prozesse verwendet wird.Es wird häufig als Katalysator in organischen Synthesereaktionen verwendet, insbesondere für die Herstellung von Kunststoffen und Harzen.BCl3 wird auch in der Halbleiterindustrie als Dotierungsmittel verwendet, um Bor in Siliziumwafer einzubringen, was deren elektrische Eigenschaften verbessert.Darüber hinaus wird BCl3 als Reagens in chemischen Gasphasenabscheidungsprozessen verwendet, um dünne Filme aus Bornitrid abzuscheiden, einem Material mit hoher thermischer und chemischer Stabilität.Aufgrund seiner hohen Reaktivität muss BCl3 im Labor jedoch mit Vorsicht und Vorsicht gehandhabt werden.