제품
특수가스, 희가스, 엑시머레이저가스 등 100여종 이상의 제품을 보유하고 있습니다.
제품 매개변수
| 다른 이름들 : | 헥사플루오로에탄 |
| MF: | C2F6 |
| 공식 중량: | 138 |
| 밀도: | 1,607g/cm3 |
| CAS 번호: | |
| EINECS 번호: | 200-939-8 |
| 유엔 번호: | 유엔 2193 2.2 |
| 청정: | 99.9%-99.999% |
| 모습: | 무색 |
응용 프로그램
헥사플루오로에탄(C2F6)은 주로 반도체 산업에서 실리콘 웨이퍼를 세척하고 에칭하기 위한 플라즈마 에칭제로 사용됩니다.또한 무독성, 불연성 특성으로 인해 냉각 시스템의 냉매 및 소화제로도 사용됩니다.그러나 C2F6는 지구 온난화 가능성이 높은 강력한 온실가스로, 대기로 방출될 경우 기후 변화에 크게 기여할 수 있습니다.따라서 C2F6를 주의 깊게 취급 및 폐기하고, 가능한 경우 대체 물질을 사용하여 온실가스 배출을 줄이는 것이 중요합니다.
헥사플루오로에탄은 살균에 사용될 수 있습니다.
소화 시스템의 소화제로서의 헥사플루오로에탄
헥사플루오로에탄은 가스 크로마토그래피 분석에서 운반 가스로 사용될 수 있습니다.
헥사플루오로에탄은 전자 산업에서 세척제로 사용됩니다.
헥사플루오로에탄을 냉매로 사용할 수 있습니다.
헥사플루오로에탄은 확산 펌프의 유체로 사용될 수 있습니다.
포장 및 배송
| 제품: | 삼염화붕소 | |
| 패키지 크기 | 10Ltr 실린더 | 47L 실린더 |
| 충전 순중량/실린더: | 6kg | 32kg |
| 청정 | 5N | |
| 판막: | CGA660/CGA580 | |
제품 상세 정보
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