Özetle, benzersiz özellikleri şunlardır:eksimer lazermedya gibiArFKısa dalga boylarında hassas, küçük ölçekli malzeme işleme olanağı sağlayan KrF ve benzeri malzemeler, öngörülebilir gelecekte yeni nesil fotonik teknolojiler için kritik önem taşımaya devam edecektir. Tam potansiyellerine ulaşmak için şunlar gerekecektir:
-
Litografi alanında ilerleme sağlamak için EUV ve eksimer inovasyonuna yatırım.
-
Gaz tedarikçileri, lazer üreticileri ve son kullanıcılar arasında stratejik ortaklıklar.
-
Maliyetleri kontrol altına almak için gaz geri dönüşümünü ve geri kazanımını artırmak.
-
Arz çeşitliliğinin artırılması, istikrarı ve fiyat riskinden korunmayı sağlar.
-
Çevresel etkileri azaltmaya odaklanın.
-
Güvenliği, verimliliği ve tasarım iyileştirmelerini teşvik etmek.
Titiz araştırmalar, sorumlu uygulamalar ve işbirliğiyle,eksimer lazer gazlarıMikroelektronik, tıp, bilimsel anlayış ve endüstriyel yetenekleri dönüştüren özel faydalar sağlamaya devam edeceğiz.
Yayın tarihi: 21 Kasım 2023