三フッ化ホウ素の工業的生産方法

危険性があるため、三フッ化ホウ素ガスは自然界では決して単離されず、様々な方法で工業的に生産される。BF3前駆体を含む。主な製造ルートは2つある。

• 酸化ホウ素のフッ素化 – 酸化ホウ素は無水フッ化水素と250～500℃で反応し、酸素をフッ素に置換する。様々な酸化ホウ素を原料として使用できる。

• 三フッ化ホウ素錯体の酸性化 ― 金属フルオロホウ酸塩を酸性化することで、純粋なBF3ガスを放出する。フルオロホウ酸塩自体は、フッ化物鉱物を原料とする。

いずれの場合も、放出された粗ホウ素三フッ化物ガスは、分留と化学吸着によってさらに精製され、四フッ化ケイ素や二酸化硫黄などの不純物が除去される。精製されたBF3は凝縮されて液体として貯蔵され、その後気化されて使用箇所まで配管される。

世界のBF3生産能力は年間数千トンに達する。需要は有機フッ素化学、触媒需要、エッチングなどの電子機器用途によって牽引されている。圧縮された液体BF3の取り扱いには厳格な手順が必要となる。