製品
特殊ガス、希ガス、エキシマレーザーガスなど100種類以上の製品を取り揃えております。
製品パラメータ
| 他の名前 ： | ヘキサフルオロエタン |
| MF: | C2F6 |
| 式の重み : | 138 |
| 密度： | 1,607g/cm3 |
| CAS 番号: | |
| EINECS 番号: | 200-939-8 |
| 国連番号: | 国連 2193 2.2 |
| 純度： | 99.9%-99.999% |
| 外観： | 無色 |
アプリケーションプログラム
ヘキサフルオロエタン (C2F6) は、主に半導体産業でシリコン ウェーハの洗浄およびエッチング用のプラズマ エッチング剤として使用されます。また、その非毒性および不燃性の特性により、冷却システムの冷媒や消火剤としても使用されます。しかし、C2F6 は地球温暖化係数が高い強力な温室効果ガスであり、大気中に放出されると気候変動に大きく寄与する可能性があります。したがって、温室効果ガスの排出を削減するには、C2F6 を慎重に取り扱い、処分し、可能な場合には代替物質を使用することが重要です。
ヘキサフルオロエタンは滅菌にも使用可能
消火システムの消火剤としてのヘキサフルオロエタン
ヘキサフルオロエタンはガスクロマトグラフィー分析のキャリアガスとして使用できます
ヘキサフルオロエタンは、エレクトロニクス産業で洗浄剤として使用されます。
ヘキサフルオロエタンを冷媒として使用可能
ヘキサフルオロエタンは拡散ポンプの流体として使用できます。
梱包と配送
| 製品： | 三塩化ホウ素 | |
| 小包のサイズ | 10Ltrシリンダー | 47Lシリンダー |
| 充填正味重量/シリンダー： | 6kg | 32kg |
| 純度 | 5N | |
| バルブ： | CGA660/CGA580 | |
製品の詳細
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